Tweet

Nova 600: ogen en handen op nanoschaal /reageer

Bij de onderzoeksgroep Fysica van Nanostructuren van de TU in Eindhoven (TU/e) zijn ze erg enthousiast over de nieuwe aanwinst: de Nova 600 (pdf). Dit apparaat kan op nanoniveau materiaal bewerken en de gebruiker kan ‘live’ meekijken naar het proces. “Het is een ultieme set ogen en handen”, vindt prof. dr. Bert Koopmans van de onderzoeksgroep.

“Kijk, dit is op het niveau van een haar. En nu gaan we verder inzoomen”

“Kijk, dit is op het niveau van een haar en nu gaan we verder inzoomen.” Dit vertelt assistent in opleiding ir. Reinoud Lavrijsen, terwijl hij het apparaat bestuurt. Het beeld blijft enorm scherp. Helemaal opmerkelijk is dat je op dat niveau nog wijzigingen het materiaal kunt aanbrengen. Bovendien kun je het resultaat meteen bekijken op een beeldscherm.

1,2 miljoen euro

Het apparaat kostte 1,2 miljoen euro en is geleverd door FEI Company.
In heel Nederland staan slechts vier van dergelijke apparaten. De TU/e schafte het eind 2007 aan binnen het nanotechnologieprogramma NanoNed.

Partners binnen NanoNed mogen ook gebruikmaken van de faciliteiten die worden aangeschaft binnen het Eindhovense investeringsbudget van bijna vier miljoen euro. Dit zijn onder meer de universiteiten van Delft, Wageningen, Groningen en Nijmegen en bedrijven als TNO en Philips. Het apparaat is in oktober binnengehaald en rond de jaarwisseling in gebruik genomen.

Freesbankje

De Nova 600 is een combinatie van een zogenaamde Scanning Electron Microscope (SEM), waarmee je op nanoniveau kunt kijken, en een Focussed Ion Beam (FIB).

Koopmans vergelijkt de FIB met een freesbankje. “Het apparaat versnelt de geladen galliumionen tot een hoge energie. Vervolgens worden ze gefocusseerd tot een spot van enkele nanometers. Als je ze afschiet op het materiaal, kun je gedeelten lokaal wegfrezen. Met elektronen krijg je dit niet voor elkaar, maar met de geladen ionen lukt dat wel. Dat komt doordat ze een grotere massa hebben.”