Schrijven met heliumionen 
/reageer
-
door: Redactie Sync over: elektrotechniek, nanotech, materiaal op: 2 juli 2010 Met heliumionen is het mogelijk om nog kleinere structuren te maken.
De vraag naar opslag wordt steeds groter, nieuwe miniaturisatie doorbraken zijn nodig.
Chips kunnen steeds meer informatie vasthouden op de zelfde oppervlakte. De optische technieken waarmee een chip gemaakt wordt lopen tegen grenzen aan. Om toch nog verder te gaan met de miniaturisatie zijn nieuwe technieken nodig. Om een chip te maken, wordt een plaatje silicium (een wafer) bedekt met een laagje lak (resist). Vervolgens wordt deze resist belicht met een bepaald patroon. Belichting gebeurt nu meerstal met een laser. Maar het is ook mogelijk om een electronenbundel of ionenbundel te gebruiken. Elektronenbundels en ionenbundels zijn veel langzamer, maar kunnen wel kleinere structuren schrijven dan laserbundels. De ionenbundel ’schrijft’ het patroon op de laklaag. Daarna wordt de wafer ontwikkeld. Alleen op de plaatsen waar de ionenbundel heeft geschreven, blijft de laklaag zitten.
NanoNed-onderzoeker Vadim Sidorkin heeft tijdens zijn promotie-onderzoek als eerste in de wereld patronen weten te schrijven die slechts veertien nanometer uit elkaar staan, en die zelf zes nanometer klein zijn. De afstand van veertien nanometer die Sidorkin wist te realiseren, zou de dataopslag, bijvoorbeeld voor de nieuwe generatie mobiele telefoons, met een factor tien kunnen verhogen ten opzichte van de huidige maximale capaciteit.
Helium Ionen Microscoop
Sidorkin onderzocht hoe je zo klein mogelijke structuren kunt schrijven met behulp van elektronenbundels en ionenbundels. Op dit moment gebruikt de industrie vooral licht om extreem kleine structuren te schrijven op halfgeleidermateriaal, bijvoorbeeld om computerchips te maken. Sidorkin gebruikte een door TNO vanuit NanoNed-gelden aangeschafte Helium Ionen Microscoop (HIM) om heliumionenbundels te maken. Hiermee wist hij puntjes te schrijven met een diameter van zes nanometer.
